GB/T 40417-2021《电子特气六氟丁二烯》

Electronic specialty gas—1,3-Hexafluorobutadiene

标准类型：国家标准

标准属性：推荐性

标准状态：现行

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国家标准《电子特气六氟丁二烯》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC1（全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会）执行，主管部门为国家标准委。

主要起草单位浙江省化工研究院有限公司、中船重工（邯郸）派瑞特种气体有限公司、昊华气体有限公司、中化蓝天氟材料有限公司、衢州氟硅技术研究院、福建久策气体股份有限公司、广东华特气体股份有限公司、天津绿菱气体有限公司、江西华特电子化学品有限公司、苏州金宏气体股份有限公司、上海申南特种气体有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、大连大特气体有限公司、上海凡伟仪器设备有限公司、联雄投资(上海)有限公司、沈阳中复科金压力容器有限公司、浙江东开半导体科技有限公司、和立气体（上海）有限公司、昆明广瑞达特种气体有限责任公司、西南化工研究设计院有限公司、西南化工研究设计院有限公司武汉分公司、西南化工研究设计院有限公司双流分公司。

主要起草人史婉君、张建君、李翔宇、郭君、付梦月、侯玲玲、褚人财、李霞、谭慧、何经余、曹素英、傅铸红、陈艳珊、马建修、曹小林、杨俊豪、王新喜、孙猛、陈洁、吴靓、方华、于庆伟、何波、唐中伟、黄辉、宫兵、王大为、易达文、李阳、梁永强、梁成科、高静、吴克安、白占旗、鬲春利、谭依玲、徐龙、曹元洪、周鹏云、陈凯。

基础信息

标准号：GB/T 40417-2021发布日期：2021-08-20实施日期：2022-03-01标准类别：产品中国标准分类号：G86国际标准分类号：71.100.20 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会主管部门：国家标准委

起草单位

浙江省化工研究院有限公司昊华气体有限公司衢州氟硅技术研究院广东华特气体股份有限公司江西华特电子化学品有限公司上海申南特种气体有限公司大连大特气体有限公司联雄投资(上海)有限公司浙江东开半导体科技有限公司昆明广瑞达特种气体有限责任公司西南化工研究设计院有限公司武汉分公司中船重工（邯郸）派瑞特种气体有限公司中化蓝天氟材料有限公司福建久策气体股份有限公司天津绿菱气体有限公司苏州金宏气体股份有限公司上海华爱色谱分析技术有限公司上海凡伟仪器设备有限公司沈阳中复科金压力容器有限公司和立气体（上海）有限公司西南化工研究设计院有限公司西南化工研究设计院有限公司双流分公司

起草人

史婉君张建君付梦月侯玲玲谭慧何经余陈艳珊马建修王新喜孙猛方华于庆伟黄辉宫兵李阳梁永强吴克安白占旗徐龙曹元洪李翔宇郭君褚人财李霞曹素英傅铸红曹小林杨俊豪陈洁吴靓何波唐中伟王大为易达文梁成科高静鬲春利谭依玲周鹏云陈凯

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