GB/T 17874-2021《电子特气三氯化硼》

Electronic specialty gas—Boron trichloride

标准类型：国家标准

标准属性：推荐性

标准状态：现行

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国家标准《电子特气三氯化硼》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC1（全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会）执行，主管部门为国家标准委。

主要起草单位大连保税区科利德化工科技开发有限公司、中昊光明化工研究设计院有限公司、和立气体（上海）有限公司、太和气体（荆州）有限公司、广东华特气体股份有限公司、海宁市英德赛电子有限公司、福建久策气体股份有限公司、中船重工（邯郸）派瑞特种气体有限公司、江西华特电子化学品有限公司、苏州金宏气体股份有限公司、沁阳国顺硅源光电气体有限公司、上海兄弟微电子技术有限公司、浙江省化工研究院有限公司、昊华气体有限公司西南分公司、杭州市消费者权益保护委员会秘书处（杭州国家电子商务产品质量监测处置中心）、上海申南特种气体有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、大连大特气体有限公司、上海凡伟仪器设备有限公司、联雄投资(上海)有限公司、沈阳中复科金压力容器有限公司、浙江东开半导体科技有限公司、昆明广瑞达特种气体有限责任公司、西南化工研究设计院有限公司、西南化工研究设计院有限公司武汉分公司、西南化工研究设计院有限公司双流分公司。

主要起草人施旖旎、赵趫、孙福楠、梁永强、梁成科、阳辉、傅铸红、陈艳珊、丁高松、何经余、曹素英、宋富财、苏子杰、廖恒易、刘健、史婉君、张建君、王新喜、孙猛、史隽涛、周礼誉、鬲春利、张琦炎、吕博文、陈洁、吴靓、方华、辛伶、何波、黄小强、黄辉、刘扬涛、宫兵、易达文、李阳、高静、李威、赵帅德、余民、周鹏云、沈翠平。

基础信息

标准号：GB/T 17874-2021发布日期：2021-10-11实施日期：2022-05-01全部代替标准：GB/T 17874-2010标准类别：产品中国标准分类号：G86国际标准分类号：71.100.20 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会主管部门：国家标准委

起草单位

大连保税区科利德化工科技开发有限公司和立气体（上海）有限公司广东华特气体股份有限公司福建久策气体股份有限公司江西华特电子化学品有限公司沁阳国顺硅源光电气体有限公司浙江省化工研究院有限公司杭州市消费者权益保护委员会秘书处（杭州国家电子商务产品质量监测处置中心）上海华爱色谱分析技术有限公司上海凡伟仪器设备有限公司沈阳中复科金压力容器有限公司昆明广瑞达特种气体有限责任公司西南化工研究设计院有限公司武汉分公司中昊光明化工研究设计院有限公司太和气体（荆州）有限公司海宁市英德赛电子有限公司中船重工（邯郸）派瑞特种气体有限公司苏州金宏气体股份有限公司上海兄弟微电子技术有限公司昊华气体有限公司西南分公司上海申南特种气体有限公司大连大特气体有限公司联雄投资(上海)有限公司浙江东开半导体科技有限公司西南化工研究设计院有限公司西南化工研究设计院有限公司双流分公司

起草人

施旖旎赵趫梁成科阳辉丁高松何经余苏子杰廖恒易张建君王新喜周礼誉鬲春利陈洁吴靓何波黄小强宫兵易达文李威赵帅德沈翠平孙福楠梁永强傅铸红陈艳珊曹素英宋富财刘健史婉君孙猛史隽涛张琦炎吕博文方华辛伶黄辉刘扬涛李阳高静余民周鹏云

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