GB/T 17864-1999《关键尺寸（CD）计量方法》
CD Metrology procedures
标准类型：国家标准
标准属性：推荐性
标准状态：现行
下载PDF文件
国家标准《关键尺寸（CD）计量方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC4（全国半导体设备和材料标准化技术委员会微光刻分会）执行，主管部门为国家标准委。
主要起草单位中国科学院微电子中心。
基础信息
标准号：GB/T 17864-1999发布日期：1999-09-13实施日期：2000-06-01标准类别：方法中国标准分类号：L56国际标准分类号：31.200 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会微光刻分会主管部门：国家标准委
采标情况
本标准等同采用其他国际标准：SEMI P24:1994。采标中文名称:。
起草单位
中国科学院微电子中心
相近标准(计划)
20231337-T-469 微束分析 扫描电子显微术 CD-SEM评定关键尺寸的方法JB/T 5900-1991 通用锻制模块毛坯尺寸及计量方法20243201-T-607 柑桔属精油紫外吸收光谱分析法测定CD值SJ/T 11001-2023 电子元器件详细规范 CD291、CD292、CD293 型固定铝电解电容器 评定水平EGB/T 33663-2017 只读类出版物光盘CD、DVD常规检测参数GB/T 33664-2017 CD、DVD类出版物光盘复制质量检验评定规范GB/T 16969-1997 信息技术只读120mm数据光盘（CD-ROM）的数据交换GB/T 16970-1997 信息技术信息交换用只读光盘存储器（CD-ROM）的盘卷和文卷结构GB/T 33662-2017 可录类出版物光盘CD-R、DVD-R、DVD+R常规检测参数GB/T 9110-1988 原油立式金属罐计量油量计量方法
环境行业特色检测
Popular Industry Testing
服务客户
+
出具报告
+
专业人员
+
实验仪器
+
微析服务优势
SERVICE ADVANTAGES
CMA/CNAS资质
微析技术研究院已经过严格的审核程序，同时获得了CMA/CNAS双资质认证，是一家专业正规的三方检测中心。
数据严谨精准
提供精准的数据支持，建立了完善的数据管理系统，对每个检测项目数据进行详细记录与归档，以便随时查阅追溯。
独立公正立场
严格按照法律法规和行业标准行事，不受任何外部干扰，真实反映实际情况，出具的检测报告具有权威性和公信力。
服务领域广泛
服务领域广泛，涉及众多行业。食品、环境、医药、化工、建筑、电子、机械等领域，都能提供专业检测服务。
检测服务流程
SERVICE PROCESS
只需四步
轻松解决需求
关于微析院所
ABOUT US WEIXI
微析研究所总部位于北京，拥有数家国内检测、检验（监理）、认证、研发中心，1家欧洲（荷兰）检验、检测、认证机构，以及19家国内分支机构。微析研究所拥有35000+平方米检测实验室，超过2000人的技术服务团队。
业务领域覆盖全国，专注为高分子材料、金属、半导体、汽车、医疗器械等行业提供大型仪器测试(光谱、能谱、质谱、色谱、核磁、元素、离子等测试服务)、性能测试、成分检测等服务；致力于化学材料、生物医药、医疗器械、半导体材料、新能源、汽车等领域的专业研究，为相关企事业单位提供专业的技术服务。
微析研究所是先进材料科学、环境环保、生物医药研发及CMC药学研究、一般消费品质量服务、化妆品研究服务、工业品服务和工程质量保证服务的全球检验检测认证 (TIC)服务提供者。微析研究所提供超过25万种分析方法的组合，为客户实现产品或组织的安全性、合规性、适用性以及持续性的综合检测评价服务。
十多年的专业技术积累
服务众多客户解决技术难题
每年出具十余万+份报告
2500+名专业技术人员
行业资讯动态
NEWS AND UPDATES
行业百科
常见问题
[06-18]
[06-18]
[06-18]
[06-18]
[06-18]
[06-18]
[06-18]
[06-18]
[06-18]
[06-18]
[06-18]
[06-18]
[06-18]
[06-18]
[06-18]
[06-18]
[06-18]
[06-18]
[06-18]
[06-18]
[06-18]
[06-18]
[06-18]
[06-18]
[06-18]
[06-18]
[06-18]
[06-18]
更多资讯动态
MORE NEWS AND UPDATES